玻璃 pH 电极测量溶液中的氢离子浓度，而 ISFET pH 电极测量氢离子活性。不同之处在于，氢离子活度不仅考虑离子的浓度，还考虑它们与溶液中其他离子的相互作用。这就是为什么 ISFET pH 电极通常被认为比玻璃 pH 电极更准确，特别是在可能存在大量竞争离子的复杂溶液中。此外，ISFET pH 电极不会像玻璃 pH 电极那样受到温度变化的影响。